VPS 是一款單批次處理系統。裝載一批工件之後，進行抽真空及氬氣回充至噴塗壓力；接著對工件進行清潔及噴塗工序，然後經過預設的冷卻程序，再使用空氣回充至大氣環境下開啟主艙卸載工件，對下一批次工件重複此週期。

SVPS系統除噴塗真空主艙外並配備預熱真空側艙,包含工件夾持機構及加熱裝置；這可使得噴塗真空主艙保持恆定可控氣氛條件，以便進行連續加工無須開啟主艙裝卸工件。

HC-LVPS 高效能真空電漿噴塗系統 , 其配備一個或兩個工件夾持操作載台和預熱型真空側艙，這樣可連續進行零件噴塗；噴塗真空主艙保持在恆定的可控氣氛條件下，並可使用機械手臂裝載和卸載工件。

LPPS-Hybrid
代表一系列在高真空條件（約1 mbar或更低）下應用的過程，用以快速製備獨特的高性能表面塗層零件。根據原料、沉積物狀態（液態或氣相）以及工作參數，所製備的塗層可依需求達到較薄塗層、厚塗層或具有獨特微觀結構的塗層。

電漿噴塗系統可分為兩大類：
｜大氣電漿噴塗（簡稱APS）
｜真空電漿噴塗（簡稱為LVPS或VPS）
真空電漿噴塗原理和大氣電漿噴塗完全一樣，唯一不同的是前者處在真空低壓並具氣氛保護環境的艙體內做噴塗，其最大的好處為：
｜塗層緻密
｜氧物化極少
｜品質穩定結合力極佳