| 提高性能並降低營運成本 |

在應用技術部分，當涉及靜電吸盤(E-chuck)、真空艙體和製程套件（例如:遮罩和密封圈）等零件時，需要應對越來越多的挑戰；包括減少顆粒磨蝕以及改善平整度、基板尺寸和耐蝕性。Oerlikon Metco 的高純度粉末搭配電漿噴塗技術，具有下列優勢:

• 使靜電吸盤(E-chuck)具有良好的電絕緣性與導電性
• 光滑緻密的塗層，可提高靜電吸盤的性能
• 真空艙體零件具有良好的抗腐蝕、抗顆粒磨蝕和抗電漿性，因此性能更好、產量更高
• 低孔隙率的光滑塗層可改善電漿蝕刻和抗腐蝕性能，進而減少客戶的停機時間
• 協助客戶降低營運成本、延長零件壽命、提高生產量和生產率